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　　方案特點(diǎn)

　　豐富的內(nèi)置元器件庫(kù)（雙端口、三端口、MOSFET、BJT等），可以根據(jù)測(cè)試要求選擇所需要的待測(cè)件類(lèi)型；

　　四象限輸出和測(cè)量功能，可以在正負(fù)電壓、正負(fù)電流之間進(jìn)行無(wú)縫切換和掃描；

　　測(cè)試和計(jì)算過(guò)程由軟件自動(dòng)執(zhí)行，能夠顯示數(shù)據(jù)和曲線，節(jié)省了大量的時(shí)間；

　　精準(zhǔn)穩(wěn)定的探針臺(tái)，針座分辨率可高達(dá)0.7um，顯微鏡放大倍數(shù)最高可達(dá)x195倍；

　　高達(dá)500fA電流輸出分辨率和10fA測(cè)量分辨率，可以滿(mǎn)足半導(dǎo)體器件微小電信號(hào)控制和測(cè)量要求。

　　測(cè)試功能

　　雙端口、三端口器件直流參數(shù)測(cè)量；

　　I-V，I-T，V-T，I-R，V-R掃描測(cè)試；

　　曲線繪制，原始數(shù)據(jù)導(dǎo)出，結(jié)果保存。

　　系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

　　系統(tǒng)主要由一臺(tái)雙通道源表或兩臺(tái)單通道源表（SMU）、連接線或探針臺(tái)，及上位機(jī)軟件構(gòu)成。以三端口MOSFET或BJT器件為例，共需要以下設(shè)備：兩臺(tái)吉時(shí)利2450源表、三同軸或香蕉頭連接電纜、夾具或探針臺(tái)。

　　上位機(jī)軟件與源表（SMU）的連接方式如下圖所示，可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一個(gè)接口進(jìn)行連接。

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